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                                超精密光学制造与检测

                                2018-12-23 分享

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                                  基于深亚纳米超高精度检测及制造技术,可实现平面和球面光学元件:面形精度优于0.3nm RMS,表面粗糙度优于0.2nm RMS;非球面光学元件:面形精度优于1nm RMS,表面粗糙度优于0.3nm RMS。

                                  

                                   

                                     球面透镜                     非球面透镜                碳化硅反射镜                  1等平晶 

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